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SL系列高性能气体静压导轨

点击:1344次   时间:2020/8/6

产品说明:

产品特点: 非接触式气浮导轨结构 直驱直线电机驱动 定位精度±0.2μm 极低的耗气量 精密光栅尺闭环反馈 高刚性重负载 极小的自激效应

产品详情

配备微型高功率直线电机,高精度光栅尺闭环反馈,可实现极大加速度和纳米级定位精度。该系统既适合应用于超精密加工设备,又是微电子、检测领域的理想选择。

优化的机械结构、创新的节流方式提供了相比国外同类产品更高的刚度、更大的承载能力和极低的耗气量。同时可选真空预载技术,保证正常的空气工作间隙。

SL系列高性能气体静压导轨结构紧凑,可用于构建多轴运动系统。

无摩擦运动,确保了行业领先的直线度和俯仰/偏摆/翻滚,适用于半导体加工、检测等对运动精度要求较高的领域。

可根据客户的需求提供灵活的解决方案。


产品特点:

非接触式气浮导轨结构

直驱直线电机驱动

定位精度±0.2μm

极低的耗气量

精密光栅尺闭环反馈

高刚性重负载

极小的自激效应